了解和减少使用 HR-EBSD 测量应变时的误差
星期四, 四月 18, 2024
从微束X 射线衍射 (XRD) 到基于电子显微镜的织构微观测量,基于衍射的现代工具为多尺度残余应变定量提供了激动人心的可能性。不同的技术在尺度和分辨率上有所不同,并且,在应变测量值上也产生了显著的差异。本研究证实了先前的报道,即通过对晶面间角 (Δθ/θ) 变化的测量,高分辨率电子背散射衍射 (HR-EBSD) 和透射菊池衍射 (TKD) 测得了比测量晶面间距(Δd/d)变化的基于劳厄微束 XRD 和基于透射电子显微镜 (TEM) 的旋进电子衍射 (PED)更高的残余应变。此外,结果表明,随着残余应变的增加,两种测量类型之间似乎存在一致的比例因子。除了影响HHR-EBSD的应变测量分辨率的已知因素外,本研究还探讨了HR-EBSD在涉及晶面间角变化的应变(Δθ/θ)时的量化准确性,并通过使用模拟花样,将测量值与仅涉及晶面间距差异(Δd/d)的应变的测量值进行比较。与来自花样模拟的基于(Δθ/θ)的应变相比,HR-EBSD使用一个的比例因子,低估了基于(Δd/d)的应变。有趣的是,这个比例因子在幅度上与基于XRD和基于EBSD的测量之间的差异类似。通过比较从相同位置获得的TKD和PED的应变进一步强调了这一点。它们表现出不同的分辨率,但在数值上显示相似的晶格畸变。