性能优点
- 一个探测器适用于几乎所有 EDS 应用— – 提供超出您预期的准确性和应用广度,无需多个 EDS 探测器
- 为成分面分析提供出色的灵敏度— – 允许您以比传统 EDS 检测器高 25 倍的信噪比(SNR)检测更低元素浓度
- 以出色的空间分辨率捕获元素和相图— – 使用增大 80% 以上的无窗传感器,在较低加速电压下快速分析样品
- 在广泛的 SEM 条件下准确测定成分— – 利用在所有加速电压下运行的电子阱的力量
- 适用于多用户环境— – 独特的设计可最大限度地延长正常运行时间,确保您可以专注于重要的事情:您的研究
Octane Elite Ultra 使用的 EDS 传感器比传统的大面积薄窗传感器大三倍以上。凭借其无窗设计和优异的电子处理元件,Octane EliteUltra 将灵敏度提高了 25 倍。这让它测试所花的时间仅为以前测试所需时间的一小部分,无论是元素分布图,实时相图,或者在相同的SNR下以高达 25 倍的视野获取数据。
Octane Elite Ultra 使用的 EDS 传感器比任何其他无窗探测器大>80%,帮助在苛刻的应用中获得出色的结果。这使用户能够在较低的加速电压或束流下操作 SEM,从而能够分析纳米颗粒、电子束敏感样品(如有机-无机杂化钙钛矿或组织切片)、低硼钢和半导体器件中的超薄介电层,以接近二次或背散射电子成像的空间分辨率提供结果用于 EDS 分析。
图1. 硼和钴元素图的成分图像叠加在硼钢样品的二次电子图像上。a)Octane Elite Ultra 采集的数据结果,b)其它 EDS 探测器采集的数据结果;Octane Elite Ultra 对轻元素具有出色的灵敏度,因此能够定量表征硼的分布。
您现在可以依靠无窗 EDS 探测器作为 SEM 上的单独 EDS 探测器。Octane Elite Ultra 消除了以前与无窗检测器相关的定量分析局限性,加快了元素识别和准确的定量分析。该系统使用创新的电子阱,可防止能量高达 30 keV 的背散射电子对 EDS 谱的影响,从而在广泛的操作范围内提供准确的结果。Octane Elite Ultra 利用成熟的 EDAX APEX™ EDS Advanced 软件(3.0 或更高版本),可提供可靠的分析结果,使其成为您需要的EDS探测器。
凭借其专有的传感器设计、有效的系统监控和机械快门,Octane Elite Ultra 通过主动监控显微镜的状态来保障探测器的安全。例如,必要时,它可以迅速过渡到安全状态,例如,当真空条件不适合运行时。即使在SEM发生灾难性故障的情况下,即使在冷却后暴露在大气中48小时,这款坚固的传感器的性能也几乎没有下降。
Octane Elite Ultra 提供精确的定量分析,满足您充满挑战性的分析要求,并保障长期使用下的抗逆力,是满足您各种分析需求的优选解决方案,即使在多用户环境中也是如此。
图2. 使用 Octane Elite Ultra 探测器对氧化钒(V2O5)进行EDS谱和定量表征;测得的成分在 ±1 at% 以内。SEM 在25 kV 下运行,束流设置为可提供 20,000 cps计数率。通过使用 eZAF 和碳涂层校正的无标样定量分析以及使用 APEX EDSAdvanced软件 3.0 版计算的轫致辐射背景来分析EDS谱。
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