优势
- 通过解析 EDS 重叠峰来提高结果的准确性，能量分辨率比仅使用 EDS 高 15 倍
- 可靠地检测微量元素和痕量元素，具有更高的光谱分辨率和峰背比 (P/B)
- 通过使用 EDAX Lambda WDS 光谱仪收集更多的 X 射线，提供结果的速度比其他系统快 8 倍
- 使用经过验证的分析算法提供更精确的定量结果
- 支持与其他技术相关联，执行尽可能全面的分析
- 通过同时捕获 EDS 和 WDS 数据来避免操作员的失误
图 1. 5 kV 下合金样品的 EDS（红色轮廓）和 WDS（青色）光谱的叠加。
Lambda WDS 光谱仪的能量分辨率比 EDS 检测器要高 15 倍。这使您能够克服 EDS 分析的缺点并解决 EDS 的重叠峰问题；WDS 还将最低检测限提高了 10 倍。Lambda 光谱仪可以检测微量元素和痕量元素，并具有更高的 P/B。
通过解析过渡金属 L 线，样品深度空间分辨率提高 10 倍，增强对复杂材料的分析，提高对表面信息的敏感度。Neptune 拓展了 SEM 的分析能力，让用户得到具有更高对比度的面分析图，可检测仅使用 EDS 难以观察的痕量元素和难以表征的轻元素，并提供比常规基于罗兰圆光谱仪设备高 8 倍的 P/B*。
Neptune 消除了用户对“仅限专家”使用的工具和培训的需求。它允许用户在常规 SEM 实验室带来类似电子探针微分析仪的功能。用户可以立即收集结果，避免代价高昂的分析延迟，减少购买昂贵或高度专业化工具的需要。
*基于使用 Lambda Plus WDS 系统的 B K 的 P/B；Lambda Super 系统提供额外 2.5 倍的提升。
图2. Si-W-Ta 样品的 EDS（上）和 WDS（下）图。WDS 面分析可解决由于 EDS 面分析中 Ta M、Si K 和 W M 峰重叠而导致的假象。
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