在传统的电子背散射衍射（EBSD）测试中，采集EBSD花样，然后使用霍夫变换分析花样确定衍射带位置，使用候选相列表计算晶体取向，确定取向，相以及其他度量，包括EBSD图像质量值、取向结果的置信度参数和扫描电子显微镜（SEM）图像信号强度。为减少数据量，有利于在OIM中更快生成不同的图表及曲线等，减少保存的数据量是非常有效的手段。不过，最近持续的技术更新发展了新的应用，使用保存的EBSD花样可以获取更多的可用信息。本文将回顾一些保存的EBSD花样可用于增强EBSD分析的方法。
使用保存的EBSD花样最直接的好处是在采集后查看花样。在OIM分析中，这可以使用FlexiView查看，其中EBSD花样可以从采集图中的每点实时显示，当然也可以显示所得的晶体学晶胞和极图。此功能用于验证是否获得了可识别的EBSD花样，并识别花样质量或强度的任何可视化差异。
保存的花样也可用于EDAX的PRIAS™ 成像技术。PRIAS模式下，EBSD图像中定义了不同的感兴趣区域（ROI），当电子束扫描相关样品区域时，这些ROI可用作电子成像探测器，不同的成像对比度机制取决于ROI的位置。在EBSD采集时，PRIAS ROI位置是预设好的。保存的花样也可以使用PRIAS，而且，ROI可以更自由地定位和调整，以优化对比度和图像质量。图1显示了来自位于探测器屏幕中心的ROI（图1a）和位于屏幕底部的ROI（见图1b）的镍合金PRIAS图像。这些图像显示了两个PRIAS图像之间具有互补衬度的微观结构。
图1.来自镍基超合金的PRIAS图像来自a）位于探测器屏幕中心的ROI和b）位于屏幕底部的ROI。
在某些情况下，可以采集高质量的EBSD花样，但标定率很低。使用保存的EBSD花样，可以很容易地确定这种标定情况的原因，并且可以使用许多改进标定的替代方案。条带检测结果可以与保存的花样一起显示，并在必要时进行调整以提高标定结果。如果没有保存的EBSD花样，这是不可能实现的。也可以添加其他相进行分析，这些添加相可以对保存的EBSD花样进行分析，如果成功标定，则可以使用OIM分析的标定功能分析整个数据集。这些标定工具允许用户重新标定整个数据集或以重新标定用户定义的分区，以实现更高效的分析。例如，用户可以仅重新标定初始置信度因子较低的点。
对于多相样本，有时很难使用单个背景信号进行正确的EBSD背底校正，因为不同相的平均原子序数可能会发生显著变化。这会导致EBSD信号和背景信号都产生差异，并会降低条带检测和标定性能。使用保存的EBSD花样，可以生成特定相的背景信号，并将其用于提高标定性能，而不考虑存在的相的个数。
使用EDAX的专利NPAR技术也可以改善标定结果。使用NPAR，对保存的EBSD花样进行处理，每个单独的花样与其相邻的花样进行平均，以提高生成的平均花样的信噪比（SNR）。这种SNR的改进反过来提高了条带检测和花样标定性能。与EBSD扫描的传统帧平均值相比，NPAR提高了SNR和标定，同时可在SEM上实现更快的采集速率。如果采样步长小于感兴趣的特征尺寸，NPAR能在几乎所有微观结构上改善标定性能。
OIM Matrix™模块最近被添加到OIM分析软件中。OIM Matrix将实验花样与动态模拟花样进行比较，以确定最佳的晶体取向和相。这种类型的标定有两种方法。第一种是词典标定，在标定花样之前计算模拟EBSD花样库。第二种是球形标定，将实验花样投影到球形模拟花样上，以找到模拟中的最佳拟合。球形标定是OIM Analysis v9中的新功能。
图2. 显示APEX中“扫描详细信息”窗口的屏幕截图。
保存EBSD花样的一个应用是HR-EBSD或高分辨EBSD。该应用从测量的微观结构中的每个晶粒中选择参考花样。将晶粒内的其他花样与晶粒参考花样进行比较和关联。该技术能测量材料的弹性应变并能提高角度精度。
本文总结了使用保存的EBSD花样来增强EBSD分析的许多应用。从实际操作角度来看，在APEX中定义EBSD扫描过程时，需要选择保存EBSD花样的选项。 图2显示了APEX中“扫描详细信息”窗口的屏幕截图。在此窗口中，将显示“保存花样”选项。保存花样时，用户可以保存为8位up1文件或16位up2文件。这些花样以与扫描文件相同的文件名保存，并且在OIM分析中打开以进一步分析，所以花样与扫描数据必须位于同一文件夹中。